| dc.contributor.author | Кравченко, Сергій Юрійович | uk |
| dc.contributor.author | Кравченко, Юрій Степанович | uk |
| dc.contributor.author | Осадчук, Володимир Степанович | uk |
| dc.contributor.author | Осадчук, Олександр Володимирович | uk |
| dc.contributor.author | Кравченко, Сергей Юрьевич | ru |
| dc.contributor.author | Кравченко, Юрий Степанович | ru |
| dc.contributor.author | Осадчук, Владимир Степанович | ru |
| dc.contributor.author | Осадчук, Александр Владимирович | ru |
| dc.contributor.author | Kravchenko, Serhii Yuriiovych | en |
| dc.contributor.author | Kravchenko, Yurii Stepanovych | en |
| dc.contributor.author | Osadchuk, Volodymyr Stepanovych | en |
| dc.contributor.author | Osadchuk, Oleksandr Volodymyrovych | en |
| dc.date.accessioned | 2016-08-03T08:48:21Z | |
| dc.date.available | 2016-08-03T08:48:21Z | |
| dc.date.issued | 2007-10-10 | |
| dc.identifier | 26975 | |
| dc.identifier.citation | Пат. 26975 UA, МПК H01L 21/302. Пристрій для визначення моменту закінчення процесу плазмового травлення [Текст] / С. Ю. Кравченко, Ю. С. Кравченко, В. С. Осадчук, О. В. Осадчук (Україна). - № u200706552 ; заявл. 11.06.2007 ; опубл. 10.10.2007, Бюл. № 19. - 2 с. : кресл. | uk |
| dc.identifier.uri | http://ir.lib.vntu.edu.ua/handle/123456789/12927 | |
| dc.description.abstract | Пристрій для визначення моменту закінчення процесу плазмового травлення, в якому за рахунок введення нових елементів і зв'язків між ними досягається можливість підвищення чутливості і достовірності контролю за рахунок можливості виміру малої відносної концентрації збуджених частинок плазми. | uk |
| dc.description.abstract | Устройство определения момента окончания процесса плазменного травления, в котором за счет введения новых элементов между ними достигается возможность повышения чувствительности и достоверности контроля за счет возможности измерения малой относительной концентрации возбужденных частиц плазмы. | ru |
| dc.description.abstract | The invention proposes a device for determination of the process finishing point of plasma etching. Due to introduction of new elements it is achieved possibility for sensitivity enhancement and control reliability due to possibility for measuring of small relative concentration of excited plasma particles. | en |
| dc.language.iso | uk_UA | uk_UA |
| dc.publisher | Державне підприємство "Український інститут промислової власності" (УКРПАТЕНТ) | uk |
| dc.subject | H01L 21/302 | |
| dc.subject | електронна техніка | uk |
| dc.subject | процес плазмового травлення | uk |
| dc.subject | контроль плазмових процесів | uk |
| dc.title | Пристрій для визначення моменту закінчення процесу плазмового травлення | uk |
| dc.title.alternative | Устройство определения момента окончания процесса плазменного травления | ru |
| dc.title.alternative | Device for determination of process finishing point of plasma etching | en |
| dc.type | Patent | |
