Browsing Наукові праці ВНТУ. 2017. № 3 by Subject "вакуумне напилення"

Now showing items 1-1 of 1

    • Багатокомпонентні омічні контакти до GaAs 

      Дмитрієв, В. С.; Dmitriev, V.; Дмитриев, В. С. (ВНТУ, 2017)
      У статті наведені результати дослідження впливу попередньої обробки напівпровідникової пластини, режимів нанесення та термообробки контактів Ag-Ge-In/n-n+GaAs на питомий перехідний опір.