Двокаскадний мікроелектронний шестизондовий пристрій для вимірювання напівпровідникового опору з частотним виходом

Abstract

Двокаскадний мікроелектронний шестизондовий пристрій для вимірювання напівпровідникового опору з частотним виходом включає ємність, котушку індуктивності, вимірювач різниці частот, джерело живлення, а також рамку – тримач, причому пристрій виконаний у вигляді двох каскадів, при цьому в перший каскад введено чотири зонди, друге джерело живлення, чотири резистори, ємність та два біполярних транзистори, причому третій та шостий зонди, з'єднані з першим джерелом живлення, четвертий та п'ятий зонди з'єднані з першим та другим резисторами та загальною шиною. Друге джерело живлення з'єднано з ємністю та котушкою індуктивності, які сполучені з загальною шиною, перший та другий біполярні транзистори з'єднані між собою, а також з третім та четвертим резисторами та з загальною шиною, а другий каскад містить перший та другий зонди. Які з'єднані з п'ятим та шостим резисторами та з загальною шиною, до якого підключені третє джерело живлення, яке з'єднано з ємністю та котушкою індуктивності, крім того, третій та четвертий біполярні транзистори з'єднані між собою, а також з сьомим та восьмим резисторами та загальною шиною, яка разом зі стоком першого та третього біполярних транзисторів утворює вихід пристрою, крім того вимірювач різниці частот підключений до першого та другого каскадів, а також з'єднаний з частотоміром, який встановлений з можливістю зв'язку з персональним комп'ютером.

Двухкаскадное микроэлектронное шестизондовое устройство для измерение полупроводникового сопротивления с частотным выходом содержит емкость, катушку индуктивности, измеритель разницы частот, источник питания, а также рамку - держатель, причем устройство выполнено в виде двух каскадов, при этом в первый каскад введены четыре зонда, второй источник питания, четыре резистора, емкость и два биполярных транзистора, причем третий и шестой зонды соединены с первым источником питания, четвертый и пятый зонды соединены с первым и вторым резисторами и общей шиной. Второй источник питания соединен с емкостью и катушкой индуктивности, которая соединена с общей шиной, первый и второй биполярные транзисторы соединены между собой, а также с третьим и четвертым резисторами и с общей шиной, а второй каскад содержит первый и второй зонды, которые соединены с пятым и шестым резисторами и с общей шиной, к которому подключен третий источник питания, который соединен с емкостью и катушкой индуктивности, кроме того, третий и четвертый биполярные транзисторы соединены между собой, а также с седьмым и восьмым резисторами и с общей шиной, которая вместе со стоком первого и третьего биполярных транзисторов образует выход устройства, кроме того измеритель разницы частот подключен к первому и второму каскадам, а также соединен с частотомером, установленным с возможностью связываться с персональным компьютером.

Two-step microelectronic six-probe device for measuring semiconductor resistance with frequency output contains the capacitance, inductance coil, the meter of the difference of the frequencies of the power supply source, and also a frame-holder, wherein the device is made in the form of two stages, at the first stage has four of the probe, the second source of power supply, the four resistors, the container and the two bipolar transistor, wherein the third and the sixth probes are connected with the first power supply source, the fourth and the fifth probes are connected with the first and second resistors and the common bus. The second power supply source is connected with the vessel and the coil inductance, which is connected with the common bus, the first and second bipolar transistors are interconnected and also connected with the third and fourth resistors and with the common bus, and the second stage comprises first and second probes, which are connected with the fifth and sixth resistors and with the common bus, to which is connected a third power supply source, which is connected with the vessel and the coil inductance, in addition, the third and fourth bipolar transistors are interconnected, and also with the seventh and eighth resistors and with the common bus, which together with the drain of the first and third bipolar transistors forms the output of the device, in addition the difference of the frequency meter is connected to the first and second stages, and also connected with the frequency meter, mounted with the possibility of communicate with a personal computer.