Browsing Оптико-електронні інформаційно-енергетичні технології. 2008. № 2 by Author "Кравченко, Ю. С."

Now showing items 1-1 of 1

Оптичні сенсори вологості робочих газів підвищеного і атмосферного тиску

Кравченко, Ю. С.; Савицький, А. Ю. (ВНТУ, 2008)

Розглянуто вплив вологості на технологічний процес виготовлення інтегральних мікросхем, принципи побудови сенсорів вологості робочих плазмоутворюючих газів для мікроелектронної технології. Проаналізовано шляхи підвищення ...