Обґрунтування робочих параметрів систем створення мікроклімату чистих приміщень в галузі мікроелектроніки

Abstract

В даній роботі виконується вибір та обґрунтування раціональних параметрів системи мікроклімату для чистих приміщень в галузі мікроелектроніки із застосуванням систем вентиляції та кондиціонування за рахунок постійного обміну повітря в приміщеннях, а також проходження його через абсолютні фільтри забезпечує і підтримує необхідну концентрацію аерозольних часток, а саме необхідний клас чистоти в приміщенні. Обґрунтовано економічну перевагу встановлених вентиляційного обладнання з класом очищення G7 та фільтри особливо тонкого очищення (надтонкого), HEPA-фільтри. Теоретично обґрунтовано складових тепловтрат та теплонадходжень в даній галузі, а також розраховано ефективне обладнання для системи вентиляції та кондиціонування. Визначено склад та об’єми монтажних робіт, підібрано необхідне устаткування, машини, механізми та обладнання, розроблено календарний план, графік руху робітників, графік руху машин і механізмів, визначено склад ланок та тривалість монтажу системи.

In this work, the choice and justification of the rational parameters of the microclimate system for clean premises of medical establishments with the use of ventilation and air conditioning systems through the constant exchange of air in the premises and passing through absolute filters provides and maintains the necessary concentration of aerosol particles, and, consequently, the required class cleanliness indoors. The economic advantage of installed ventilation units with purification class G7 and filters of especially fine purification (superfine) Hepa-filters is grounded.Theoretically, the components of heat loss and heat revenues in the storage were substantiated, and effective equipment for the active ventilation system was calculated. The composition and volumes of installation work are determined, the necessary equipment, machines, mechanisms and equipment have been selected, the calendar plan, the schedule of the workers movement, the schedule of the movement of machines and mechanisms have been developed, the composition of the parts and the length of the installation of the system have been determined.