• English
    • русский
    • українська
  • English 
    • English
    • русский
    • українська
  • Login
Search 
  • Frontpage
  • Патенти, авторські свідоцтва
  • Факультет інформаційних електронних систем
  • Search
  • Frontpage
  • Патенти, авторські свідоцтва
  • Факультет інформаційних електронних систем
  • Search
Сайт інституційного репозитарію ВНТУ містить роботи, матеріали та файли, які були розміщені докторантами, аспірантами та студентами Вінницького Національного Технічного Університету. Для розширення функцій сайту рекомендується увімкнути JavaScript.

Search

Show Advanced FiltersHide Advanced Filters

Filters

Use filters to refine the search results.

Now showing items 1-10 of 48

  • Sort Options:
  • Relevance
  • Title Asc
  • Title Desc
  • Issue Date Asc
  • Issue Date Desc
  • Results Per Page:
  • 5
  • 10
  • 20
  • 40
  • 60
  • 80
  • 100
Thumbnail

Пристрій для вимірювання різниці температур 

Івчук, Ганна Василівна; Кравченко, Юрій Степанович; Ивчук, Ганна Васильевна; Кравченко, Юрий Степанович; Ivchuk, Hanna Vasylivna; Kravchenko, Yurii Stepanovych (Державне підприємство "Український інститут промислової власності" (УКРПАТЕНТ), 2007-11-12)
Пристрій для вимірювання різниці температур складається з двох термометрів опору, двох біполярних транзисторів з струмозадавальними резисторами в колі їх емітерів, джерела живлення, стабілізатора струму, виконаного на ...
Thumbnail

Пристрій для визначення моменту закінчення процесу плазмового травлення 

Кравченко, Сергій Юрійович; Кравченко, Юрій Степанович; Осадчук, Володимир Степанович; Осадчук, Олександр Володимирович; Кравченко, Сергей Юрьевич; Кравченко, Юрий Степанович; Осадчук, Владимир Степанович; Осадчук, Александр Владимирович; Kravchenko, Serhii Yuriiovych; Kravchenko, Yurii Stepanovych; Osadchuk, Volodymyr Stepanovych; Osadchuk, Oleksandr Volodymyrovych (Державне підприємство "Український інститут промислової власності" (УКРПАТЕНТ), 2007-10-10)
Пристрій для визначення моменту закінчення процесу плазмового травлення, в якому за рахунок введення нових елементів і зв'язків між ними досягається можливість підвищення чутливості і достовірності контролю за рахунок ...
Thumbnail

Спосіб вимірювання температури газу в нерівноважній плазмі 

Слотвійчук, Сергій Анатолійович; Кравченко, Юрій Степанович; Кравченко, Юрий Степанович (Державне підприємство "Український інститут промислової власності" (УКРПАТЕНТ), 2016-08-10)
Спосіб вимірювання температури газу в нерівноважній плазмі, в якому мідь-константанову термопару, яку попередньо розміщують в кварцовому капілярі, який запаюють на кінці, відрізняється тим, що напругу на зовнішніх її ...
Thumbnail

Спосіб плазмохімічної обробки матеріалів 

Кравченко, Юрій Степанович; Савицький, Антон Юрійович; Кравченко, Юрий Степанович; Савицкий, Антон Юрьевич; Kravchenko, Yurii Stepanovych; Savytskyi, Anton Yuriiovych (Державне підприємство "Український інститут промислової власності" (УКРПАТЕНТ), 2008-04-10)
Спосіб плазмохімічної обробки матеріалів полягає у травленні напівпровідникових пластин, що проводять в циліндричному реакторі, в якому плазму ВЧ-розряду збуджують при пониженому тиску плазмоутворюючого газу шляхом створення ...
Thumbnail

Спосіб визначення моменту закінчення процесу плазмохімічного травлення 

Кравченко, Юрій Степанович; Дудник, Дмитро Петрович; Кравченко, Юрий Степанович; Дудник, Дмитрий Петрович; Kravchenko, Yurii Stepanovych; Dudnyk, Dmytro Petrovych (Державне підприємство "Український інститут промислової власності" (УКРПАТЕНТ), 2008-04-10)
Спосіб визначення моменту закінчення процесу плазмохімічного травлення належить до області електронної техніки і може бути використаний для контролю плазмохімічних процесів в різноманітних пристроях автоматичного керування ...
Thumbnail

Газоаналізатор 

Кравченко, Юрій Степанович; Гладковська, Олена Леонідівна; Савицький, Антон Юрійович; Кравченко, Юрий Степанович; Гладковская, Елена Леонидовна; Савицкий, Антон Юрьевич; Kravchenko, Yurii Stepanovych; Hladkovskaya, Olena Leonidivna; Savytskyi, Anton Yuriiovych (Державне підприємство "Український інститут промислової власності" (УКРПАТЕНТ), 2008-08-11)
Газоаналізатор, який складається з оптично пов'язаних джерела випромінювання, приймача випромінювання, вимірювальної кювети і світлофільтра, причому як джерело випромінювання використано джерело когерентного випромінювання, ...
Thumbnail

Спосіб вимірювання температури газу в нерівноважній плазмі 

Івчук, Ганна Василівна; Кравченко, Сергій Юрійович; Кравченко, Юрій Степанович; Ивчук, Ганна Васильевна; Кравченко, Сергей Юрьевич; Кравченко, Юрий Степанович; Ivchuk, Hanna Vasylivna; Kravchenko, Serhii Yuriiovych; Kravchenko, Yurii Stepanovych (Державне підприємство "Український інститут промислової власності" (УКРПАТЕНТ), 2007-11-12)
Спосіб вимірювання температури газу в нерівноважній плазмі включає введення в плазму мідь-константанової термопари, яку попередньо розміщують в кварцовому капілярі, який запаюють на кінці. Напругу на зовнішніх її виводах, ...
Thumbnail

Пристрій для вимірювання температури газу в нерівноважній плазмі 

Кравченко, Сергій Юрійович; Кравченко, Юрій Степанович; Осадчук, Володимир Степанович; Осадчук, Олександр Володимирович; Кравченко, Сергей Юрьевич; Кравченко, Юрий Степанович; Осадчук, Владимир Степанович; Осадчук, Александр Владимирович; Kravchenko, Serhii Yuriiovych; Kravchenko, Yurii Stepanovych; Osadchuk, Volodymyr Stepanovych; Osadchuk, Oleksandr Volodymyrovych (Державне підприємство "Український інститут промислової власності" (УКРПАТЕНТ), 2007-11-12)
Пристрій для вимірювання температури газу в нерівноважній плазмі містить розрядну трубку, вакуумний шліф, який з'єднано з розрядною трубкою, кварцовий капіляр з зовнішнім діаметром 0,5-1 мм, який закріплено на вакуумному ...
Thumbnail

Спосіб визначення моменту закінчення процесу плазмохімічного травлення 

Кравченко, Сергій Юрійович; Кравченко, Юрій Степанович; Осадчук, Володимир Степанович; Осадчук, Олександр Володимирович; Кравченко, Сергей Юрьевич; Кравченко, Юрий Степанович; Осадчук, Владимир Степанович; Осадчук, Александр Владимирович; Kravchenko, Serhii Yuriiovych; Kravchenko, Yurii Stepanovych; Osadchuk, Volodymyr Stepanovych; Osadchuk, Oleksandr Volodymyrovych (Державне підприємство "Український інститут промислової власності" (УКРПАТЕНТ), 2007-10-10)
Спосіб визначення моменту закінчення процесу плазмохімічного травлення, в якому за рахунок введення нових операцій і зв'язків між ними досягається можливість вимірювання малих відносних концентрацій збуджених частинок ...
Thumbnail

Спосіб визначення моменту закінчення плазмохімічного травлення мікроструктур в хлорвуглецевій плазмі 

Кравченко, Юрій Степанович; Осадчук, Дмитро Васильович; Кравченко, Юрий Степанович; Осадчук, Дмитрий Васильевич; Kravchenko, Yurii Stepanovych; Osadchuk, Dmytro Vasyliovych (Державне підприємство "Український інститут інтелектуальної власності" (УКРПАТЕНТ), 2019-03-25)
Спосіб визначення моменту закінчення процесу плазмохімічного травлення в хлорвуглецевій плазмі, в якому власне оптичне випромінювання плазми розділяють за допомогою оптичних вузькосмугових (інтерференційних фільтрів) на ...
  • 1
  • 2
  • 3
  • 4
  • . . .
  • 5

Institutional Repository

FrontpageSearchHelpContact UsAbout Us

University Resources

JetIQLibrary websiteUniversity websiteE-catalog of VNTU

Browse

All of DSpaceCommunities & CollectionsBy Issue DateAuthorsTitlesSubjectsTypePublisherLanguageUdcISSNPublicationDOIThis CollectionBy Issue DateAuthorsTitlesSubjectsTypePublisherLanguageUdcISSNPublicationDOI

My Account

LoginRegister

Discover

Author
Кравченко, Юрій Степанович (48)
Кравченко, Юрий Степанович (45)Kravchenko, Yurii Stepanovych (44)Osadchuk, Volodymyr Stepanovych (20)Осадчук, Владимир Степанович (20)... View MoreTypePatent (24)Other (13)Subjectелектронна техніка (27)контроль плазмових процесів (10)H01L 21/302 (8)процес плазмового травлення (8)вимірювальна техніка (7)... View MoreLanguage (ISO)uk_UA (2)PublisherДержавне підприємство "Український інститут інтелектуальної власності" (УКРПАТЕНТ) (2)Date Issued2010 - 2020 (25)2005 - 2009 (23)Has File(s)Yes (48)

ISSN 2413-6360 | Frontpage | Send Feedback | Help | Contact Us | About Us
© 2016 Vinnytsia National Technical University | Extra plugins code by VNTU Linuxoids | Powered by DSpace
Працює за підтримки 
НТБ ВНТУ