Спосіб визначення моменту закінчення процесу плазмохімічного травлення
Автор
Кравченко, Юрій Степанович
Дудник, Дмитро Петрович
Кравченко, Юрий Степанович
Дудник, Дмитрий Петрович
Kravchenko, Yurii Stepanovych
Dudnyk, Dmytro Petrovych
Дата
2008-04-10Metadata
Показать полную информациюCollections
Аннотации
Спосіб визначення моменту закінчення процесу плазмохімічного травлення належить до області електронної техніки і може бути використаний для контролю плазмохімічних процесів в різноманітних пристроях автоматичного керування технологічними процесами.
Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс:
http://ir.lib.vntu.edu.ua/handle/123456789/11415