Пристрій для визначення моменту закінчення процесу плазмового травлення

Abstract

Пристрій для визначення моменту закінчення процесу плазмового травлення, в якому за рахунок введення нових елементів і зв'язків між ними досягається можливість підвищення чутливості і достовірності контролю за рахунок можливості виміру малої відносної концентрації збуджених частинок плазми.

Устройство определения момента окончания процесса плазменного травления, в котором за счет введения новых элементов между ними достигается возможность повышения чувствительности и достоверности контроля за счет возможности измерения малой относительной концентрации возбужденных частиц плазмы.

The invention proposes a device for determination of the process finishing point of plasma etching. Due to introduction of new elements it is achieved possibility for sensitivity enhancement and control reliability due to possibility for measuring of small relative concentration of excited plasma particles.