Радіовимірювальний мікроелектронний сенсор концентрації газу з частотним виходом

Abstract

В роботі досліджено мікроелектронний сенсор концентрації газу, який представляє собою автогенераторну схему, що складається з двозатворного польового і біполярного транзисторів, в коло зворотного зв'язку автогенератора включено газочутливий резистивний елемент. При дії газу на газочутливий резистивний елемент відбувається перетворення зміни концентрації газу на зміну частоти генерації, що значно покращує метрологічні характеристики сенсора. Отримано аналітичні функції перетворення і чутливості сенсора. Чутливість сенсора складає 100-15,5 Гц/ррт.