Частотний перетворювач концентрації газу з чутливим MEMS елементом
Автор
Осадчук, О. В.
Осадчук, В. С.
Осадчук, Я. О.
Дата
2017Metadata
Показать полную информациюCollections
- Наукові роботи каф. ІРТС [778]
Аннотации
Переваги мікроелектронних перетворювачів концентрації газу перед традиційними обумовлені, насамперед, застосуванням у них як чутливого елементу напівпровідникового матеріалу, групових методів його обробки і формування в ньому вимірювальних, схем підсилення й обробки сигналу методами мікроелектронної технології.
Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс:
http://ir.lib.vntu.edu.ua//handle/123456789/18448