Основи мікроелектроніки
Abstract
В навчальному посібнику викладені основні принципи і напрями розвитку мікроелектроніки, проведена класифікація виробів мікроелектроніки і їх загальна характеристика, описані фізико-хімічні основи і технологія виготовлення напівпровідникових і гібрідних ІМС
URI:
http://ir.lib.vntu.edu.ua//handle/123456789/19559