Методичні вказівки до виконання курсової роботи з дисципліни «Технологічні основи електроніки» для студентів напряму підготовки 6.050801 – «Мікро- та наноелектроніка»

Abstract

У методичних вказівках наведено основні теоретичні дані, вимоги до структури та захисту курсової роботи з дисципліни «Технологічні основи електроніки» та рекомендована література. Методичні вказівки розроблено відповідно до навчальної програми дисципліни «Технологічні основи електроніки». Курсова робота має за мету задачу поглибленого вивчення окремих розділів базового курсу, а також засвоєння основних навиків аналізу стану справ в галузі сучасних технологій в мікро- та наноелектроніці. Наведено опис основних етапів виконання роботи, методики розрахунку параметрів інтегральних МДН-транзисторів, технологічні маршрути створення КМДН інтегральних схем.