Пристрій для випарювання матеріалів

Abstract

Пристрій для випарювання матеріалів містить технологічну камеру, в якій розміщений нагрівник, тигель, колектор пари, мікропроцесорну систему керування нагрівником і систему вимірювання і контролю густини пари, які встановлені зовні технологічної камери. В тигель та колектор пари введені калориметричні вимірювачі потужності нагрівника та колектора пари, виходи яких з'єднані з входом мікропроцесорної системи керування нагрівником.

Устройство для выпаривания материалов содержит технологическую камеру, в которой размещен нагреватель, тигель, коллектор пары, микропроцессорную систему управления нагревателем и систему измерения и контроля плотности пара, которые установлены вне технологической камеры. В тигель и коллектор пара введены калориметрические измерители мощности нагревателя и коллектора пара, выходы которых соединены с входом микропроцессорной системы управления нагревателем.

A mechanism for the evaporation of materials contains processing chamber, in which disposed are heater, crucible, vapor collector, microprocessor system for heater control and system for measurement and vapor density control being installed outside the processing chamber. Into the crucible and the vapour collector introduced are calorimetric measuring devices of heater and vapor collector power with outlets connected to the inlet of microprocessor system for the heater control.