Розробка радіовимірювальних мікроелектронних перетворювачів температури на основі структури метал-сегнетоелектрик-напівпровідник

Author
Осадчук, В. С.
Осадчук, О. В.
Барабан, С. В.
Ільченко, О. М.
Date
2008-05
Metadata
Show full item record
Collections
Abstract
Проаналізовано сучасні технології отримання тонких сегнетоелектричних плівок, методи побудови радіовимірювальних мікроелектронних перетворювачів температури. Запропоновано новий метод вимірювання температури на основі поєднання сегнетоелектричних тонких плівок з транзисторними структурами з від’ємним опором та розроблено електричні схеми радіовимірювальних мікроелектронних перетворювачів температури на основі структури «метал−сегнетоелектрик−напівпровідник»
URI:
http://ir.lib.vntu.edu.ua/handle/123456789/2249
View/Open