Розробка радіовимірювальних мікроелектронних перетворювачів температури на основі структури метал-сегнетоелектрик-напівпровідник
Автор
Осадчук, В. С.
Осадчук, О. В.
Барабан, С. В.
Ільченко, О. М.
Дата
2008-05Metadata
Показать полную информациюCollections
- Наукові роботи каф. ІРТС [778]
Аннотации
Проаналізовано сучасні технології отримання тонких сегнетоелектричних плівок, методи побудови радіовимірювальних мікроелектронних перетворювачів температури. Запропоновано новий метод вимірювання температури на основі поєднання сегнетоелектричних тонких плівок з транзисторними структурами з від’ємним опором та розроблено електричні схеми радіовимірювальних
мікроелектронних перетворювачів температури на основі структури «метал−сегнетоелектрик−напівпровідник»
Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс:
http://ir.lib.vntu.edu.ua/handle/123456789/2249