| dc.contributor.author | Нікешин, Юрій Ігорович | uk |
| dc.contributor.author | Осадчук, Олександр Володимирович | uk |
| dc.contributor.author | Никешин, Юрий Игоревич | ru |
| dc.contributor.author | Осадчук, Александр Владимирович | ru |
| dc.contributor.author | Nikeshyn, Yurii Ihorovych | en |
| dc.contributor.author | Osadchuk, Oleksandr Volodymyrovych | en |
| dc.date.accessioned | 2015-02-03T13:29:24Z | |
| dc.date.available | 2015-02-03T13:29:24Z | |
| dc.date.issued | 2013-01-10 | |
| dc.identifier | 76387 | |
| dc.identifier.citation | Пат. 76387 UA, МПК H01L 21/66, G01R 31/26. Мікроелектронний чотиризондовий пристрій для вимірювання напівпровідникового опору [Текст] / Ю. І. Нікешин, О. В. Осадчук (Україна). - № u201203166 ; заявл. 19.03.2012 ; опубл. 10.01.2013, Бюл. № 1. - 4 с. : кресл. | uk |
| dc.identifier.uri | http://ir.lib.vntu.edu.ua/handle/123456789/229 | |
| dc.description.abstract | Мікроелектронний чотиризондовий пристрій для вимірювання напівпровідникового опору містить котушку індуктивності, яка підключена до джерела живлення. Введено чотири зонди. Другий та третій з'єднані з біполярним транзистором. Перший та четвертий з'єднані з першим джерелом живлення. | uk |
| dc.description.abstract | Микроэлектронное четырехзондовое устройство для измерения полупроводникового сопротивления содержит катушку индуктивности, подключенную к источнику питания. Введены четыре зонда. Второй и третий соединены с биполярным транзистором. Первый и четвертый соединены с первым источником питания. | ru |
| dc.description.abstract | A microelectronic four-probe device for measuring semiconductor resistance comprises an inductance coil connected to a power source. Four probes are introduced. The second and third probes are connected to a bipolar transistor. The first and fourth probes are connected to the first power source. | en |
| dc.language.iso | uk_UA | uk_UA |
| dc.publisher | Державне підприємство "Український інститут промислової власності" (УКРПАТЕНТ) | uk |
| dc.subject | H01L 21/66 | |
| dc.subject | G01R 31/26 | |
| dc.subject | вимірювання напівпровідникового опору | uk |
| dc.subject | мікроелектронний чотиризондовий пристрій | uk |
| dc.subject | вимірювальна техніка | uk |
| dc.subject | контроль якості матеріалів | uk |
| dc.subject | напівпровідниковий матеріал | uk |
| dc.title | Мікроелектронний чотиризондовий пристрій для вимірювання напівпровідникового опору | uk |
| dc.title.alternative | Микроэлектронное четырехзондовое устройство для измерения полупроводникового сопротивления | ru |
| dc.title.alternative | MICROELECTRONIC FOUR-PROBE DEVICE FOR MEASUREMENT OF SEMICONDUCTOR RESISTANCE | en |
| dc.type | Other | |
