Автоматизована система нанометричного контролю на базі атомно-силового мікроскопу
Автор
Андрієнко, Ольга
Тичков, Дмитро
Бондаренко, Максим
Дата
2020-10Metadata
Показати повну інформаціюCollections
URI:
http://ir.lib.vntu.edu.ua//handle/123456789/30639