Система оптичного контролю напівпровідникових пластин

Abstract

Проведено порівняльний аналіз існуючих модуляторів поляризації, обґрунтовано вибір компонентів, розроблено структурну та оптичну схеми комп’ютеризованої системи поляриметричного контролю напівпровідникових пластин. Також розраховано параметри схеми фотоелектричного перетворювача.

A comparative analysis of existing polarization modulators was carried out, the choice of components was substantiated, and the structural and optical schemes of a computerized system for polarimetric control of semiconductor wafers were developed. The parameters of the photovoltaic converter circuit are also calculated.