Аналіз і класифікація методів оптичного контролю напівпровідників
Abstract
Розглядаються візуальні, інтерференційні, поляризаційні та інші методи. Обговорюються їхні переваги, недоліки та практичне застосування. Оптичні методи дозволяють досліджувати склад, властивості, структуру та параметри напівпровідників без їх руйнування. Ці методи ґрунтуються на відбитті, поглинанні, інтерференції та дифракції світла.
Please use this identifier to cite or link to this item:
https://ir.lib.vntu.edu.ua//handle/123456789/41542