Багатоканальна система реєстрації спектра випромінювання нерівноважної плазми

Abstract

На базі мікроконтролера РІС16F877A розроблена мікропроцесорна система реєстрації спектра випромінювання нерівноважної плазми для контролю плазмохімічних процесів. Система дозволяє проводити одночасну обробку даних від чотирьох незалежних джерел інформації та візуалізувати цільовий процес плазмового травлення мікроструктур.

На базе микроконтроллера РІС16F877A разработана микропроцессорная система регистрации спектра излучения неравновесной плазмы для контроля плазмохимических процессов. Система позволяет проводить одновременную обработку данных от четырех независимых источников информации и визуализировать целевой процесс плазменного травления микроструктур.

On the basis of the microcontroller RІS16F877A microprocessor system of registration of the emission spectrum of nonequilibrium plasma is designed to control plasma-chemical processes. The system allows simultaneous processing of data from four independent sources of information and visualize the target process of plasma etching of microstructures.