Метод вхідного контролю структурно-чутливих параметрів некристалічних напівпровідників

Abstract

Розроблено метод вхідного контролю структурно-чутливих параметрів некристалічних напівпровідників на основі диференційно-термічного аналізу.

The method of input control of structure-sensitive parameters of amorphous semiconductors based on the differential thermal analysis was developed.