Browsing by Author "Федорчук, Елена Михайловна"

Now showing items 1-1 of 1

    • Спосіб управління іонно-плазмовим напиленням тонких плівок у вакуумі 

      Куник, Юрій Олександрович; Федорчук, Олена Михайлівна; Куник, Юрий Александрович; Федорчук, Елена Михайловна; Kunyk, Yurii Oleksandrovych; Fedorchuk, Olena Mykhailivna (Державне підприємство "Український інститут промислової власності" (УКРПАТЕНТ), 2010-12-27)
      Спосіб управління іонно-плазмовим напиленням тонких плівок у вакуумі включає підбір пробних значень вхідних параметрів, що регулюються, зокрема струму розряду дуги, струму зовнішнього магнітного поля та потенціалу підкладки, ...