Перегляд Оптико-електронні інформаційно-енергетичні технології. 2011. № 1 за темою "плазма"
Відображеня елементи 1-1 із 1
-
Багатоканальні системи для оптичного емісійно-спектрального контролю плазмохімічних процесів травлення мікроструктур
(ВНТУ, 2011)Розглянуті питання щодо підвищення ефективності контролю плазмохімічних процесів травлення мікроструктур за рахунок введення багатоканальних систем реєстрації та обробки спектру власного випромінювання нерівноважної плазми. ...