Искать
Отображаемые элементы 1-2 из 2
Багатоканальні системи для оптичного емісійно-спектрального контролю плазмохімічних процесів травлення мікроструктур
(ВНТУ, 2011)
Розглянуті питання щодо підвищення ефективності контролю плазмохімічних процесів травлення мікроструктур за рахунок введення багатоканальних систем реєстрації та обробки спектру власного випромінювання нерівноважної плазми. ...
Способи підвищення точності оптичних перетворювачів концентрації газів
(ВНТУ, 2011)
Проаналізовано способи підвищення точності та чутливості оптичних перетворювачів концентрації газів. Представлено функціональні схеми волоконно-оптичних перетворювачів концентрації газів з двома каналами, робота яких ...