• English
    • русский
    • українська
  • English 
    • English
    • русский
    • українська
  • Login
Search 
  • Frontpage
  • Патенти, авторські свідоцтва
  • Search
  • Frontpage
  • Патенти, авторські свідоцтва
  • Search
Сайт інституційного репозитарію ВНТУ містить роботи, матеріали та файли, які були розміщені докторантами, аспірантами та студентами Вінницького Національного Технічного Університету. Для розширення функцій сайту рекомендується увімкнути JavaScript.

Search

Show Advanced FiltersHide Advanced Filters

Filters

Use filters to refine the search results.

Now showing items 1-10 of 34

  • Sort Options:
  • Relevance
  • Title Asc
  • Title Desc
  • Issue Date Asc
  • Issue Date Desc
  • Results Per Page:
  • 5
  • 10
  • 20
  • 40
  • 60
  • 80
  • 100
Thumbnail

Пристрій для визначення моменту закінчення процесу плазмового травлення 

Кравченко, Сергій Юрійович; Кравченко, Юрій Степанович; Осадчук, Володимир Степанович; Осадчук, Олександр Володимирович; Кравченко, Сергей Юрьевич; Кравченко, Юрий Степанович; Осадчук, Владимир Степанович; Осадчук, Александр Владимирович; Kravchenko, Serhii Yuriiovych; Kravchenko, Yurii Stepanovych; Osadchuk, Volodymyr Stepanovych; Osadchuk, Oleksandr Volodymyrovych (Державне підприємство "Український інститут промислової власності" (УКРПАТЕНТ), 2007-10-10)
Пристрій для визначення моменту закінчення процесу плазмового травлення, в якому за рахунок введення нових елементів і зв'язків між ними досягається можливість підвищення чутливості і достовірності контролю за рахунок ...
Thumbnail

Спосіб вимірювання температури газу в нерівноважній плазмі 

Слотвійчук, Сергій Анатолійович; Кравченко, Юрій Степанович; Кравченко, Юрий Степанович (Державне підприємство "Український інститут промислової власності" (УКРПАТЕНТ), 2016-08-10)
Спосіб вимірювання температури газу в нерівноважній плазмі, в якому мідь-константанову термопару, яку попередньо розміщують в кварцовому капілярі, який запаюють на кінці, відрізняється тим, що напругу на зовнішніх її ...
Thumbnail

Спосіб плазмохімічної обробки матеріалів 

Кравченко, Юрій Степанович; Савицький, Антон Юрійович; Кравченко, Юрий Степанович; Савицкий, Антон Юрьевич; Kravchenko, Yurii Stepanovych; Savytskyi, Anton Yuriiovych (Державне підприємство "Український інститут промислової власності" (УКРПАТЕНТ), 2008-04-10)
Спосіб плазмохімічної обробки матеріалів полягає у травленні напівпровідникових пластин, що проводять в циліндричному реакторі, в якому плазму ВЧ-розряду збуджують при пониженому тиску плазмоутворюючого газу шляхом створення ...
Thumbnail

Спосіб визначення моменту закінчення процесу плазмохімічного травлення 

Кравченко, Юрій Степанович; Дудник, Дмитро Петрович; Кравченко, Юрий Степанович; Дудник, Дмитрий Петрович; Kravchenko, Yurii Stepanovych; Dudnyk, Dmytro Petrovych (Державне підприємство "Український інститут промислової власності" (УКРПАТЕНТ), 2008-04-10)
Спосіб визначення моменту закінчення процесу плазмохімічного травлення належить до області електронної техніки і може бути використаний для контролю плазмохімічних процесів в різноманітних пристроях автоматичного керування ...
Thumbnail

Спосіб вимірювання температури газу в нерівноважній плазмі 

Івчук, Ганна Василівна; Кравченко, Сергій Юрійович; Кравченко, Юрій Степанович; Ивчук, Ганна Васильевна; Кравченко, Сергей Юрьевич; Кравченко, Юрий Степанович; Ivchuk, Hanna Vasylivna; Kravchenko, Serhii Yuriiovych; Kravchenko, Yurii Stepanovych (Державне підприємство "Український інститут промислової власності" (УКРПАТЕНТ), 2007-11-12)
Спосіб вимірювання температури газу в нерівноважній плазмі включає введення в плазму мідь-константанової термопари, яку попередньо розміщують в кварцовому капілярі, який запаюють на кінці. Напругу на зовнішніх її виводах, ...
Thumbnail

Пристрій для вимірювання температури газу в нерівноважній плазмі 

Кравченко, Сергій Юрійович; Кравченко, Юрій Степанович; Осадчук, Володимир Степанович; Осадчук, Олександр Володимирович; Кравченко, Сергей Юрьевич; Кравченко, Юрий Степанович; Осадчук, Владимир Степанович; Осадчук, Александр Владимирович; Kravchenko, Serhii Yuriiovych; Kravchenko, Yurii Stepanovych; Osadchuk, Volodymyr Stepanovych; Osadchuk, Oleksandr Volodymyrovych (Державне підприємство "Український інститут промислової власності" (УКРПАТЕНТ), 2007-11-12)
Пристрій для вимірювання температури газу в нерівноважній плазмі містить розрядну трубку, вакуумний шліф, який з'єднано з розрядною трубкою, кварцовий капіляр з зовнішнім діаметром 0,5-1 мм, який закріплено на вакуумному ...
Thumbnail

Спосіб визначення моменту закінчення процесу плазмохімічного травлення 

Кравченко, Сергій Юрійович; Кравченко, Юрій Степанович; Осадчук, Володимир Степанович; Осадчук, Олександр Володимирович; Кравченко, Сергей Юрьевич; Кравченко, Юрий Степанович; Осадчук, Владимир Степанович; Осадчук, Александр Владимирович; Kravchenko, Serhii Yuriiovych; Kravchenko, Yurii Stepanovych; Osadchuk, Volodymyr Stepanovych; Osadchuk, Oleksandr Volodymyrovych (Державне підприємство "Український інститут промислової власності" (УКРПАТЕНТ), 2007-10-10)
Спосіб визначення моменту закінчення процесу плазмохімічного травлення, в якому за рахунок введення нових операцій і зв'язків між ними досягається можливість вимірювання малих відносних концентрацій збуджених частинок ...
Thumbnail

Спосіб керування газорозрядною електронною гарматою 

Новіков, Анатолій Олександрович; Котик, Олександр Валерійович; Новиков, Анатолий Александрович; Котик, Александр Валерьевич; Novikov, Anatolii Oleksandrovych; Kotyk, Oleksadr Valeriiovyh (Державне підприємство "Український інститут промислової власності"(УКРПАТЕНТ), 2002-01-15)
Cпосіб керування газорозрядною електронною гарматою відноситься до електронної техніки. В області розповсюдження електронного променя газорозрядної електронної гармати виділяють та змінюють змінну складову струму розряду ...
Thumbnail

Автогенератор з температурною стабілізацією частоти 

Молчанов, Павло Анатолійович; Войцеховська, Олена Валеріївна; Зима, Олександр Анатолійович; Молчанов, Павел Анатольевич; Войцеховская, Елена Валериевна; Molchanov, Pavlo Anatoliyovych; Voitsekhovska, Olena Valeriivna (Державне підприємство "Український інститут промислової власності"(УКРПАТЕНТ), 1998-07-17)
Thumbnail

Газорозрядна електронна пушка 

Новіков, Анатолій Олександрович; Тодось, Юрій Дмитрович; Котик, Олександр Валерійович; Котик, Александр Валерьевич; Kotyk, Oleksadr Valeriiovyh (Державне підприємство "Український інститут промислової власності"(УКРПАТЕНТ), 1998-04-30)
  • 1
  • 2
  • 3
  • 4

Institutional Repository

FrontpageSearchHelpContact UsAbout Us

University Resources

JetIQLibrary websiteUniversity websiteE-catalog of VNTU

Browse

All of DSpaceCommunities & CollectionsBy Issue DateAuthorsTitlesSubjectsTypePublisherLanguageUdcISSNPublicationDOIThis CommunityBy Issue DateAuthorsTitlesSubjectsTypePublisherLanguageUdcISSNPublicationDOI

My Account

LoginRegister

Discover

AuthorКравченко, Юрий Степанович (27)Кравченко, Юрій Степанович (27)Kravchenko, Yurii Stepanovych (26)Osadchuk, Volodymyr Stepanovych (13)Осадчук, Владимир Степанович (13)... View MoreTypePatent (12)Other (10)Subject
електронна техніка (34)
контроль плазмових процесів (10)H01L 21/302 (8)процес плазмового травлення (8)G01B 11/00 (5)... View MoreDate Issued2010 - 2019 (17)2000 - 2009 (14)1997 - 1999 (3)Has File(s)Yes (34)

ISSN 2413-6360 | Frontpage | Send Feedback | Help | Contact Us | About Us
© 2016 Vinnytsia National Technical University | Extra plugins code by VNTU Linuxoids | Powered by DSpace
Працює за підтримки 
НТБ ВНТУ