Математична модель емісійно-спектрального частотного перетворювача

Abstract

У статті представлена математична модель мікроелектронного перетворювача інтенсивності оптичного випромінювання в частоту для систем емісійно-спектрального контролю плазмохімічних процесів. Виконано моделювання вольт-амперної характеристики та функції перетворення фоточутливого перетворювача у вигляді залежності частоти генерації від потужності оптичного випромінювання.