Искать
Отображаемые элементы 1-9 из 9
Мікроелектронний оптичний перетворювач для контролю плазмохімічних процесів
(ВНТУ, 2009)
Розроблено математичну модель мікроелектронного оптичного перетворювача, яка складається з біполярного та МДН-транзисторів та фоточутливого резистора, на основі якої отримано аналітичні залежності для функції перетворення ...
Багатоканальна система реєстрації спектра випромінювання нерівноважної плазми
(ВНТУ, 2011)
На базі мікроконтролера РІС16F877A розроблена мікропроцесорна система реєстрації спектра випромінювання нерівноважної плазми для контролю плазмохімічних процесів. Система дозволяє проводити одночасну обробку даних від ...
Оптичний мікроелектронний перетворювач з активним індуктивним елементом для контролю плазмохімічних процесів
(ВНТУ, 2009)
Розроблено математичну модель мікроелектронного оптичного перетворювача з активним індуктивним елементом, призначеного для контролю плазмохімічних процесів. На основі моделі отримано аналітичні залежності для функції ...
Вольт-амперна характеристика частотного оптичного перетворювача для контролю плазмохімічних процесів з активним індуктивним елементом
(ВНТУ, 2010)
Розроблено математичну модель вольт-амперної характеристики мікроелектронного оптичного перетворювача на основі біполярного та МДН-транзисторів з активним індуктивним елементом для контролю плазмохімічних елементів.
Багатоканальні системи для оптичного емісійно-спектрального контролю плазмохімічних процесів травлення мікроструктур
(ВНТУ, 2011)
Розглянуті питання щодо підвищення ефективності контролю плазмохімічних процесів травлення мікроструктур за рахунок введення багатоканальних систем реєстрації та обробки спектру власного випромінювання нерівноважної плазми. ...
Визначення вольт-амперної характеристики частотного оптичного перетворювача для двоканального контролю плазмохімічних процесів
(ВНТУ, 2009)
Отримано аналітичний вираз вольт-амперної характеристики оптичного частотного перетворювача для контролю плазмохімічних процесів на основі системи рівнянь Кірхгофа, складеної для еквівалентної схеми перетворювача по ...
Оптичні сенсори вологості робочих газів підвищеного і атмосферного тиску
(ВНТУ, 2008)
Розглянуто вплив вологості на технологічний процес виготовлення інтегральних мікросхем, принципи побудови сенсорів вологості робочих плазмоутворюючих газів для мікроелектронної технології. Проаналізовано шляхи підвищення ...
Вимірювання та контроль температури плазми мікрозондовим методом
(ВНТУ, 2008)
На основі експериментальних даних і відповідних розрахунків проаналізовано можливість використання для контролю і управління технологічним плазмохімічним процесом в якості первинних перетворювачів температури газу термопарних ...
Оптичний частотний перетворювач для визначення часу плазмохімічних процесів
(ВНТУ, 2010)
Базовим елементом системи управління плазмохімічних
технологічних процесів є безперервний моніторинг їх фізичних
та технологічних параметрів , який здійснюється за рахунок
збору та обробки інформації від спеціальних ...