Искать
Отображаемые элементы 1-8 из 8
Частотний оптичний перетворювач для контролю плазмохімічних процесів
(Хмельницький національний університет, 2008)
Експериментально досліджено можливість використання частотного оптичного перетворювача на
основі біполярного та польового транзисторів в системі контролю процесу зняття фоторезисту.
Дослідження проводились на установці ...
Мікроелектронний оптичний перетворювач для контролю плазмохімічних процесів
(ВНТУ, 2009)
Розроблено математичну модель мікроелектронного оптичного перетворювача, яка складається з біполярного та МДН-транзисторів та фоточутливого резистора, на основі якої отримано аналітичні залежності для функції перетворення ...
Оптичний мікроелектронний перетворювач з фототранзистором для контролю плазмохімічних процесів
(Хмельницький національний університет, 2009)
Розроблено математичну модель мікроелектронного оптичного перетворювача для контролю
плазмохімічних процесів, яка складається з біполярного та МДН- транзисторів та фототранзистора в
якості фоточутливого елемента, на ...
Оптичний мікроелектронний перетворювач з активним індуктивним елементом для контролю плазмохімічних процесів
(ВНТУ, 2009)
Розроблено математичну модель мікроелектронного оптичного перетворювача з активним індуктивним елементом, призначеного для контролю плазмохімічних процесів. На основі моделі отримано аналітичні залежності для функції ...
Вольт-амперна характеристика частотного оптичного перетворювача для контролю плазмохімічних процесів з активним індуктивним елементом
(ВНТУ, 2010)
Розроблено математичну модель вольт-амперної характеристики мікроелектронного оптичного перетворювача на основі біполярного та МДН-транзисторів з активним індуктивним елементом для контролю плазмохімічних елементів.
Оптичний актинометричний метод контролю плазмохімічних процесів в мікроелектронній технології
(Хмельницький національний університет, 2014)
На прикладі плазмохімічного травлення стуктур р-Si/SiO2/Si проаналізовані можливості і
перспективи використання оптичного актиметричного методу контролю плазмохімічного травлення при
виготовленні приладів сучасної мікро- ...
Підвищення ефективності емісійно-спектрального контролю в плазмовій технології
("Бял ГРАД-БГ" ООД, 2015)
В роботі запропоновано підвищення ефективності емісійно-спектрального контролю за таких умов
можливе за рахунок спрощення структури контролюючих приладів і використання в якості інформаційного сигналу інтегрального ...
Оптичний частотний перетворювач для визначення часу плазмохімічних процесів
(ВНТУ, 2010)
Базовим елементом системи управління плазмохімічних
технологічних процесів є безперервний моніторинг їх фізичних
та технологічних параметрів , який здійснюється за рахунок
збору та обробки інформації від спеціальних ...