Искать

Отображаемые элементы 1-9 из 9

Частотний оптичний перетворювач для контролю плазмохімічних процесів

Осадчук, В. С.; Осадчук, О. В.; Кравченко, Ю. С.; Селецька, О. О.; Осадчук, А. В.; Селецкая, Е. А.; Seletska, O. O.; Osadchuk, V. S.; Osadchuk, O. V.; Kravchenko, Yu. S. (Хмельницький національний університет, 2008)

Експериментально досліджено можливість використання частотного оптичного перетворювача на основі біполярного та польового транзисторів в системі контролю процесу зняття фоторезисту. Дослідження проводились на установці ...

Оптичний мікроелектронний перетворювач з фототранзистором для контролю плазмохімічних процесів

Селецька, О. О.; Осадчук, В. С.; Кравченко, Ю. С.; Селецкая, Е. А.; Осадчук, В. С.; Кравченко, Ю. С.; Seletska, O.O.; Osadchuk, V. S.; Kravchenko, Yu. S. (Хмельницький національний університет, 2009)

Розроблено математичну модель мікроелектронного оптичного перетворювача для контролю плазмохімічних процесів, яка складається з біполярного та МДН- транзисторів та фототранзистора в якості фоточутливого елемента, на ...

Оптичний актинометричний метод контролю плазмохімічних процесів в мікроелектронній технології

Кравченко, Ю. С.; Селецька, О. О.; Кравченко, Ю. С.; Селецкая, Е. А.; Kravchenko, Y. S.; Seletska, O. O. (Хмельницький національний університет, 2014)

На прикладі плазмохімічного травлення стуктур р-Si/SiO2/Si проаналізовані можливості і перспективи використання оптичного актиметричного методу контролю плазмохімічного травлення при виготовленні приладів сучасної мікро- ...

Радіовимірювальні оптичні перетворювачі для мікроелектронної технології

Осадчук, В. С.; Осадчук, О. В.; Селецька, О. О. (ВНТУ, 2012-10)

В монографії проаналізовано сучасний стан оптичних перетворювачів, подано основи побудови радіовимірювальних оптичних перетворювачів з частотним виходом на основі реактивних властивостей транзисторних стру-ктур з від’ємним ...

Підвищення ефективності емісійно-спектрального контролю в плазмовій технології

Кравченко, Ю. С.; Селецька, О. О.; Селецкая, Е. А.; Кравченко, Ю. С.; Seletska, O. O.; Kravchenko, Y. S. ("Бял ГРАД-БГ" ООД, 2015)

В роботі запропоновано підвищення ефективності емісійно-спектрального контролю за таких умов можливе за рахунок спрощення структури контролюючих приладів і використання в якості інформаційного сигналу інтегрального ...

Частотний оптичний перетворювач з фототранзистором та активним індуктивним елементом для контролю плазмохімічних процесів

Селецька, О. О.; Осадчук, О. В.; Осадчук, В. С.; Звягін, О. С.; Селецкая, Е. А.; Осадчук, А. В.; Осадчук, В. С.; Звягин, О. С.; Seletska, O. O.; Osadchuk, V. S.; Osadchuk, O. V.; Zviahin, O. S. (Хмельницький національний університет, 2014)

Розроблено математичну модель частотного оптичного перетворювача з фототранзистором та активним індуктивним елементом для контролю плазмохімічних процесів, яка складається з біполярного і МДН¬ транзисторів та двох ...

Частотний перетворювач на основі магнітотранзистора та активно – індуктивного елемента

Осадчук, О. В.; Селецька, О. О.; Мартинюк, В. В.; Селецкая, Е. А.; Осадчук, А. В.; Мартынюк, В. В.; Seletska, O. O.; Osadchuk, O. V.; Martynyuk, V. V. (Хмельницький національний університет, 2015)

В роботі розроблено математичну модель частотного перетворювача з магнітотранзистором та активним індуктивним елементом, яка складається з біполярного та МДН-транзисторів та двох магнітотранзисторів в якості магніточутливих ...

Оптичний частотний перетворювач для визначення часу плазмохімічних процесів

Осадчук, В. С.; Осадчук, О. В.; Кравченко, Ю. С.; Селецька, О. О. (ВНТУ, 2010)

Базовим елементом системи управління плазмохімічних технологічних процесів є безперервний моніторинг їх фізичних та технологічних параметрів , який здійснюється за рахунок збору та обробки інформації від спеціальних ...

Мікроелектронний частотний перетворювач вологості з ємнісним вологочутливим елементом на основі стибій або бісмутвмісних діоксиматів ніколу (ІІ)

Селецька, О. О.; Осадчук, О. В.; Крилик, Л. В.; Євсєєва, М. П.; Селецкая, Е. А.; Осадчук, А. В.; Крилик, Л. В.; Евсеева, М. П.; Seletska, O. O.; Osadchuk, O. V.; Krylyk, L. V.; Yevseeva, M. P. (Хмельницький національний університет, 2016)

Розроблено перетворювач вологості з ємнісним елементом, в якому вологочутливий шар виготовлений на основі стибій або бісмутвмісних діоксиматів ніколу (ІІ). Експериментально встановлено, що в діапазоні вологості 7 ÷ 30% ...