• Підготовка процесу відновлення трихлорсилану воднем 

      Реков, Ю. В.; Червоний, І. Ф. (ВНТУ, 2014-02-06)
      Оцінені енергетичні та електричні параметри попереднього нагрівання кремнієвих прутків-підкладок задля генерації носіїв заряду і забезпечення необхідної провідності кремнію при виробництві високочистого полікристалічного ...