Перегляд Факультет інформаційних електронних систем по автору "Karakulova, Alina Ivanivna"

Відображеня елементи 1-1 із 1

    • Спосіб плазмохімічного травлення напівпровідникових пластин 

      Каракулова, Аліна Іванівна; Кравченко, Сергій Юрійович; Кравченко, Юрій Степанович; Каракулова, Алина Ивановна; Кравченко, Сергей Юрьевич; Кравченко, Юрий Степанович; Karakulova, Alina Ivanivna; Kravchenko, Serhii Yuriiovych; Kravchenko, Yurii Stepanovych (Державне підприємство "Український інститут промислової власності" (УКРПАТЕНТ), 2009-06-10)
      Спосіб плазмохімічного травлення напівпровідникових пластин полягає у тому, що травлення проводять у плазмі, яку утворюють електричним розрядом у вакуумній камері при постійному напусканні і відкачуванні робочого газу. ...