• Пристрій для визначення закінчення процесу плазмового травлення 

      Кравченко, Сергій Юрійович; Кравченко, Юрій Степанович; Мандзюк, Оксана Миколаївна; Осадчук, Володимир Степанович; Кравченко, Сергей Юрьевич; Кравченко, Юрий Степанович; Мандзюк, Оксана Николаевна; Осадчук, Владимир Степанович; Kravchenko, Serhii Yuriiovych; Kravchenko, Yurii Stepanovych; Mandziuk, Oksana Mykolaivna; Osadchuk, Volodymyr Stepanovych (Державне підприємство "Український інститут промислової власності" (УКРПАТЕНТ), 2012-08-10)
      Пристрій для визначення моменту закінчення процесу плазмового травлення містить лазер як джерело світла, конденсор, поворотне дзеркало, діафрагму та плазмовий реактор з пластинками (зразками), оптичним вікном для вводу і ...
    • Пристрій для визначення закінчення процесу плазмового травлення 

      Кравченко, Сергій Юрійович; Кравченко, Юрій Степанович; Мандзюк, Оксана Миколаївна; Осадчук, Володимир Степанович; Кравченко, Сергей Юрьевич; Кравченко, Юрий Степанович; Мандзюк, Оксана Николаевна; Осадчук, Владимир Степанович; Kravchenko, Serhii Yuriiovych; Kravchenko, Yurii Stepanovych; Mandziuk, Oksana Mykolaivna; Osadchuk, Volodymyr Stepanovych (Державне підприємство "Український інститут промислової власності" (УКРПАТЕНТ), 2011-04-26)
      Пристрій для визначення моменту закінчення процесу плазмового травлення містить лазер як джерело світла, конденсор, поворотне дзеркало, діафрагму та плазмовий реактор з пластинками (зразками), що підлягають обробці і ...
    • Пристрій для визначення закінчення процесу плазмового травлення 

      Кравченко, Сергій Юрійович; Кравченко, Юрій Степанович; Мандзюк, Оксана Миколаївна; Осадчук, Володимир Степанович; Кравченко, Сергей Юрьевич; Кравченко, Юрий Степанович; Мандзюк, Оксана Николаевна; Осадчук, Владимир Степанович; Kravchenko, Serhii Yuriiovych; Kravchenko, Yurii Stepanovych; Mandziuk, Oksana Mykolaivna; Osadchuk, Volodymyr Stepanovych (Державне підприємство "Український інститут промислової власності" (УКРПАТЕНТ), 2012-09-10)
      Пристрій для визначення моменту закінчення процесу плазмового травлення містить лазер як джерело світла, конденсор, поворотне дзеркало, діафрагму та плазмовий реактор з пластинками, що підлягають обробці, і оптичним вікном ...
    • Пристрій для визначення моменту закінчення процесу плазмового травлення 

      Кравченко, Сергій Юрійович; Кравченко, Юрій Степанович; Осадчук, Володимир Степанович; Осадчук, Олександр Володимирович; Кравченко, Сергей Юрьевич; Кравченко, Юрий Степанович; Осадчук, Владимир Степанович; Осадчук, Александр Владимирович; Kravchenko, Serhii Yuriiovych; Kravchenko, Yurii Stepanovych; Osadchuk, Volodymyr Stepanovych; Osadchuk, Oleksandr Volodymyrovych (Державне підприємство "Український інститут промислової власності" (УКРПАТЕНТ), 2007-10-10)
      Пристрій для визначення моменту закінчення процесу плазмового травлення, в якому за рахунок введення нових елементів і зв'язків між ними досягається можливість підвищення чутливості і достовірності контролю за рахунок ...
    • Пристрій для визначення моменту закінчення процесу плазмового травлення 

      Кравченко, Сергій Юрійович; Кравченко, Юрій Степанович; Осадчук, Володимир Степанович; Кравченко, Сергей Юрьевич; Кравченко, Юрий Степанович; Осадчук, Владимир Степанович; Kravchenko, Serhii Yuriiovych; Kravchenko, Yurii Stepanovych; Osadchuk, Volodymyr Stepanovych (Державне підприємство "Український інститут промислової власності" (УКРПАТЕНТ), 2011-11-25)
      Пристрій для визначення моменту закінчення процесу плазмового травлення, що містить вузькосмуговий інтерференційний фільтр, що оптично пов'язаний з фотоперетворювачем, який містить фототранзистор, біполярний транзистор, ...
    • Пристрій для визначення моменту закінчення процесу плазмового травлення 

      Кравченко, Сергій Юрійович; Кравченко, Юрій Степанович; Осадчук, Володимир Степанович; Кравченко, Сергей Юрьевич; Кравченко, Юрий Степанович; Осадчук, Владимир Степанович; Kravchenko, Serhii Yuriiovych; Kravchenko, Yurii Stepanovych; Osadchuk, Volodymyr Stepanovych (Державне підприємство "Український інститут промислової власності" (УКРПАТЕНТ), 2011-11-25)
      Пристрій для визначення моменту закінчення процесу плазмового травлення належить до електронної техніки. Технічний результат корисної моделі полягає в введенні нових блоків і зв'язків.
    • Пристрій для вимірювання температури газу в нерівноважній плазмі 

      Кравченко, Сергій Юрійович; Кравченко, Юрій Степанович; Осадчук, Володимир Степанович; Осадчук, Олександр Володимирович; Кравченко, Сергей Юрьевич; Кравченко, Юрий Степанович; Осадчук, Владимир Степанович; Осадчук, Александр Владимирович; Kravchenko, Serhii Yuriiovych; Kravchenko, Yurii Stepanovych; Osadchuk, Volodymyr Stepanovych; Osadchuk, Oleksandr Volodymyrovych (Державне підприємство "Український інститут промислової власності" (УКРПАТЕНТ), 2007-11-12)
      Пристрій для вимірювання температури газу в нерівноважній плазмі містить розрядну трубку, вакуумний шліф, який з'єднано з розрядною трубкою, кварцовий капіляр з зовнішнім діаметром 0,5-1 мм, який закріплено на вакуумному ...
    • Спосіб визначення моменту закінчення процесу плазмохімічного травлення 

      Кравченко, Сергій Юрійович; Кравченко, Юрій Степанович; Осадчук, Володимир Степанович; Осадчук, Олександр Володимирович; Кравченко, Сергей Юрьевич; Кравченко, Юрий Степанович; Осадчук, Владимир Степанович; Осадчук, Александр Владимирович; Kravchenko, Serhii Yuriiovych; Kravchenko, Yurii Stepanovych; Osadchuk, Volodymyr Stepanovych; Osadchuk, Oleksandr Volodymyrovych (Державне підприємство "Український інститут промислової власності" (УКРПАТЕНТ), 2007-10-10)
      Спосіб визначення моменту закінчення процесу плазмохімічного травлення, в якому за рахунок введення нових операцій і зв'язків між ними досягається можливість вимірювання малих відносних концентрацій збуджених частинок ...
    • Спосіб вимірювання температури газу в нерівноважній плазмі 

      Івчук, Ганна Василівна; Кравченко, Сергій Юрійович; Кравченко, Юрій Степанович; Ивчук, Ганна Васильевна; Кравченко, Сергей Юрьевич; Кравченко, Юрий Степанович; Ivchuk, Hanna Vasylivna; Kravchenko, Serhii Yuriiovych; Kravchenko, Yurii Stepanovych (Державне підприємство "Український інститут промислової власності" (УКРПАТЕНТ), 2007-11-12)
      Спосіб вимірювання температури газу в нерівноважній плазмі включає введення в плазму мідь-константанової термопари, яку попередньо розміщують в кварцовому капілярі, який запаюють на кінці. Напругу на зовнішніх її виводах, ...
    • Спосіб плазмового травлення в хлоровуглецевій плазмі 

      Кравченко, Юрій Степанович; Кравченко, Сергій Юрійович; Кравченко, Юрий Степанович; Кравченко, Сергей Юрьевич; Kravchenko, Yurii Stepanovych; Kravchenko, Serhii Yuriiovych (Державне підприємство "Український інститут промислової власності" (УКРПАТЕНТ), 2013-04-25)
      Спосіб плазмового травлення в хлоровуглецевій плазмі, при якому травлення проводять у плазмі, яку одержують високочастотним електромагнітним полем в реакційній камері при пониженому тиску газу та суміші основного газу-реагенту.
    • Спосіб плазмохімічного травлення напівпровідникових пластин 

      Каракулова, Аліна Іванівна; Кравченко, Сергій Юрійович; Кравченко, Юрій Степанович; Каракулова, Алина Ивановна; Кравченко, Сергей Юрьевич; Кравченко, Юрий Степанович; Karakulova, Alina Ivanivna; Kravchenko, Serhii Yuriiovych; Kravchenko, Yurii Stepanovych (Державне підприємство "Український інститут промислової власності" (УКРПАТЕНТ), 2009-06-10)
      Спосіб плазмохімічного травлення напівпровідникових пластин полягає у тому, що травлення проводять у плазмі, яку утворюють електричним розрядом у вакуумній камері при постійному напусканні і відкачуванні робочого газу. ...