Мікроелектронні сигнальні перетворювачі теплових сенсорів потоку

Abstract

В монографії розглядаються наукові проблеми розробки інтегральних сигнальних перетворювачів для мікроелектронних теплових сенсорів потоку біомедичного призначення, зокрема, в пристроях вимірювання параметрів дихальної системи, біохімічного аналізу, технологічних процесах фармакології тощо. Пропонуються нові підходи до їх електротеплового моделювання та запропоновано низку сигнальних перетворювачів теплових сенсорів потоку, що базуються на новітній мікроелектронній елементній базі. Монографія розрахована на фахівців, які працюють в галузі мікроелектроніки, а також може бути корисною студентам і аспірантам відповідного спрямування.