Оптичні сенсори вологості робочих газів підвищеного і атмосферного тиску

Abstract

Розглянуто вплив вологості на технологічний процес виготовлення інтегральних мікросхем, принципи побудови сенсорів вологості робочих плазмоутворюючих газів для мікроелектронної технології. Проаналізовано шляхи підвищення чутливості таких сенсорів і перспектива їх використання в технологічних умовах.. Рассмотрено влияние влажности на технологический процесс производства интегральных микросхем, принципы построения датчиков влажности рабочих плазмообразующих газов для микроэлектронной технологии. Проанализировано пути повышения чувствительности таких датчиков и перспективы их применения в технологических условиях.his paper is devoted to the influence of moisture on technological process of the integrated circuits manufacturing, principles of construction of moisture sensors, that could be using for analyses of the plasma-formative gases for microelectronic technology and the ways of rising their sensitiveness and the perspectives of their applications at the technologic conditions were analyzed.