Микроэлектронные сорбционные сенсоры влажности

Abstract

В данной работе теоретически, с помощью физико-математических моделей емкостных влагочувствительных элементов, и экспериментально доказана зависимость емкости влагочувствительных элементов от изменения влажности воздуха и показано, что они могут быть использованы на практике. Полученные теоретические и экспериментальные данные имеют хорошее совпадение. Емкостные сенсоры влажности разработаны на ситалловых подложках размером 0,7×0,9 см, на поверхности которых нанесена пленка меди, которая образует обкладки конденсатора в виде меандра с соответствующей геометрией 7,85·10-2×150·10-6×1,2·10-6 м. Влагочувствительными слоями сенсоров являются гигроскопические соли NaCl или BaCl2. Экспериментальные исследования показали, что при увеличении количества слоев нанесенной соли расширяется диапазон изменения емкости сенсоров.