Методичні вказівки до виконання лабораторних робіт з дисципліни «Конструювання і технологія приладів мікро- та наноелектроніки» для студентів спеціальності «Мікро- та наноелектронні прилади і пристрої»

Abstract

У методичних вказівках наведено основні теоретичні дані, вимоги до структури та захисту лабораторних робіт з дисципліни «Конструювання і технологія приладів мікро- та наноелектроніки» та рекомендована література. Методичні вказівки розроблено відповідно до навчальної програми дисципліни «Конструювання і технологія приладів мікро- та наноелектроніки».