<link rel="stylesheet" href="styles.f3b1fba60ec7970c.css">

Частотний перетворювач тиску з чутливим MEMS конденсатором

Анотація

The article deals with the frequency transducer of pressure sensitive MEMS capacitor in which passive oscillatory circuit inductance is replaced by an active inductive element. Analytical expressions transformation function and sensitivity equation. The sensitivity of the device is between 1.45 kHz/kPa to 2.5 kHz/kPa

Опис

УДК

Тип документа

Мова

Є частиною

ISSN

Бібліографічний опис

Осадчук О. В. Частотний перетворювач тиску з чутливим MEMS конденсатором [Текст] / О. В. Осадчук, Я. О. Осадчук // Міжнародна науково-технічна конференція «Радіотехнічні поля, сигнали, апарати та системи», 2016. - 2016. - С. 94-96.

Схвалення

Рецензія

Доповнено

Цитується в