Частотний перетворювач тиску з чутливим MEMS конденсатором
Вантажиться...
Дата
Автори
Назва журналу
Номер ISSN
Назва тому
DOI
Анотація
The article deals with the frequency transducer of pressure sensitive MEMS capacitor in
which passive oscillatory circuit inductance is replaced by an active inductive element. Analytical
expressions transformation function and sensitivity equation. The sensitivity of the device
is between 1.45 kHz/kPa to 2.5 kHz/kPa
Опис
Ключові слова
УДК
Тип документа
Мова
Є частиною
ISSN
Бібліографічний опис
Осадчук О. В. Частотний перетворювач тиску з чутливим MEMS конденсатором [Текст] / О. В. Осадчук, Я. О. Осадчук // Міжнародна науково-технічна конференція «Радіотехнічні поля, сигнали, апарати та системи», 2016. - 2016. - С. 94-96.