Визначення методі і розробка пристрою обчислення густини мікродефектів в напівпровідникових пластинах кремнію
Вантажиться...
Файли
Дата
Автори
Науковий керівник
Редактор
Інші учасники
Відповідальний
ORCID
Назва журналу
Номер ISSN
Назва тому
DOI
Альтернативна назва
Анотація
Виявлення свирлевих дифектів.
Detection of spider-like distortions
Detection of spider-like distortions
Опис
Ключові слова
УДК
Тип документа
Мова
ISSN
Посилання на публікацію
Серія, номер
ISBN
ББК
Інші ідентифікатори
Пов’язані матеріали
Спонсорська підтримка
Правовласник
Бібліографічний опис
Кузнєцов М. В. Визначення методі і розробка пристрою обчислення густини мікродефектів в напівпровідникових пластинах кремнію [Електронний ресурс] / М. В. Кузнєцов, І. А. Дудатьєв // Матеріали XLVIII науково-технічної конференції підрозділів ВНТУ, Вінниця, 13-15 березня 2019 р. – Електрон. текст. дані. – 2019. – Режим доступу: https://conferences.vntu.edu.ua/index.php/all-fksa/all-fksa-2019/paper/view/7815.
Схвалення
Рецензія
Доповнено
Цитується в
Список використаної літератури (3)
- www.atmu.net.ua/downloads/archive/sb2-13s.pdf
- https://patonpublishinghouse.com/as/pdf/2017/as201707all.pdf
- x-ray.net.ua/downloads/prints/referat/kv-referat.pdf