Визначення методі і розробка пристрою обчислення густини мікродефектів в напівпровідникових пластинах кремнію
Вантажиться...
Файли
Дата
Автори
Назва журналу
Номер ISSN
Назва тому
DOI
Анотація
Detection of spider-like distortions
Опис
Ключові слова
УДК
Тип документа
Мова
ISSN
Бібліографічний опис
Кузнєцов М. В. Визначення методі і розробка пристрою обчислення густини мікродефектів в напівпровідникових пластинах кремнію [Електронний ресурс] / М. В. Кузнєцов, І. А. Дудатьєв // Матеріали XLVIII науково-технічної конференції підрозділів ВНТУ, Вінниця, 13-15 березня 2019 р. – Електрон. текст. дані. – 2019. – Режим доступу: https://conferences.vntu.edu.ua/index.php/all-fksa/all-fksa-2019/paper/view/7815.
Схвалення
Рецензія
Доповнено
Цитується в
Список використаної літератури (3)
- www.atmu.net.ua/downloads/archive/sb2-13s.pdf
- https://patonpublishinghouse.com/as/pdf/2017/as201707all.pdf
- x-ray.net.ua/downloads/prints/referat/kv-referat.pdf