Радіовимірювальні перетворювачі для визначення товщини плівок на основі пристроїв з від’ємним опором

Abstract

В монографії проаналізовано сучасний стан пристроїв для визначення то-вщини плівок, подано основи побудови радіовимірювальних перетворювачів з частотним виходом на основі реактивних властивостей транзисторних струк-тур. Розглянуто електричні схеми і експериментальні дослідження основних параметрів радіовимірювальних перетворювачів для визначення товщини плі-вок. Монографія розрахована на наукових та інженерно-технічних працівників, які займаються проектуванням і розробкою мікроелектронних перетворювачів, а також на аспірантів та студентів вищих технічних навчальних закладів.