Мікропроцесорний пристрій для контролю процесу плазмохімічного травлення мікроструктур

Коломієць, В. І.

Мікропроцесорний пристрій для контролю процесу плазмохімічного травлення мікроструктур

dc.contributor.author	Коломієць, В. І.	uk
dc.title	Мікропроцесорний пристрій для контролю процесу плазмохімічного травлення мікроструктур	uk
dc.date.issued	2015
dc.publisher	Вінницький національний технічний університет	uk
dc.identifier.citation	Коломієць В. І. Мікропроцесорний пристрій для контролю процесу плазмохімічного травлення мікроструктур [Електронний ресурс] : [презентація] / В. І. Коломієць ; Вінницький національний технічний університет ; Факультет радіотехніки, зв’язку та приладобудування ; Кафедра електроніки. - Електронні текстові дані (1 файл: 0,80 Мбайт). - Вінниця, 2015. - Назва з екрана.	uk
dc.identifier.uri	http://ir.lib.vntu.edu.ua/handle/123456789/11566
dc.description.abstract	Розроблено пристрій контролю плазмохімічного травлення на основі застосування методу емісійно-спектрального контролю, що складається з вузькосмугових фільтрів, первинних оптичних перетворювачів (фоторезистор), частотних перетворювачів та компаратора. Розраховано вольт-амперну характеристику частотного оптичного перетворювача з фото резистором. Показано, що оптичний перетворювач має чутливість в межах від 64 до 5 кГц/люкс, максимальну чутливість оптичний перетворювач має при напрузі живлення 1 В та напрузі керування 6 В. Розроблено друковану плату пристрою.	uk
dc.description.abstract	The device control plasma chemical etching method based on the use of emission-control spectrum consisting of narrow band filters, primary optical converters (resistor), frequency converters and microprocesor. Calculated current-voltage characteristic frequency optical converter with a photo resistor. It is shown that the optical transducer has a sensitivity ranging from 64 to 5 kHz / lux maximum sensitivity optical converter is the supply voltage 1 V and control voltage 6 V. A printed circuit board unit.	en
dc.description	Керівник : к.ф.-м.н., доц. Кравченко Ю. С.	uk
dc.type	Presentation
dc.language.iso	uk	uk
dc.date.accessioned	2016-06-06T12:44:19Z
dc.date.available	2016-06-06T12:44:19Z