Моделювання динаміки формування наноплівок

Abstract

Промодельовано процес осадження наноматеріалів за CVD-технологією методами нелінійної молекулярної динаміки, отримано залежність АЧХ Фур’є перетворення від початкового значення швидкості руху атомів (температури) та показника дифузії газової фази.Промоделирован процесс осаждения наноматериалов по CVD-технологии методами нелинейной молекулярной динамики, получена зависимость АЧХ Фурье преобразования от начального значения скорости движения атомов (температуры) и показателя диффузии газовой фазы.Modeling of nanomaterials deposition process using CVD-technology applying non-linear molecular dynamic methods is performed; dependence of Fourier amplitude-frequency characteristic on initial value of atom motion velocity (temperature) and factor of gas phase diffusion is obtained.