Мікроелектронний оптичний перетворювач для контролю плазмохімічних процесів

Abstract

Розроблено математичну модель мікроелектронного оптичного перетворювача, яка складається з біполярного та МДН-транзисторів та фоточутливого резистора, на основі якої отримано аналітичні залежності для функції перетворення та рівняння чутливості.Разработана математическая модель микроэлектронного оптического преобразователя, состоящая из биполярного и МДП-транзисторов, и фоточувствительного резистора, на основании которой получены аналитические зависимости для функции преобразования и уравнение чувствительности.In the given work the mathematical model of microelectronic optical converter composed of bipolar and mosfet transistors and photoresistor has been developed. On the base of this model analytical dependences of transformation function and the equation of sensitivity are obtained