Шляхи підвищення ефективності контролю і управління плазмохімічними процесами

Abstract

Проаналізовано шляхи підвищення ефективності контролю і управління плазмохімічними процесами в мікроелектронній технології за рахунок впровадження нових підходів в реалізації контролю на основі сучасних досягнень в цій області, а також побудови систем управління в реальному часі, розробки сучасних контролерів на основі використання моделі процесу з використанням сучасних сенсорів в колі зворотного зв’язку, розробки нових типів контролерів управління.

Проанализированы пути повышения еффективности контроля и управленния плазмохимимческими процессами в микроэлектронной технологии за счет внедрения новых подходов к реализации контроля на основе современных достижений в этой области, а также пострению систем управления в реальном времени, разработке современных контроллеров на основе модели процесса с использованием современных сенсоров в цепи обратной связи, разработке новых типов контроллеров управления.

The given paper analyses the ways aimed at improvement of control efficiency of plasma chemical processes in microelectronic technologies due to introduction of new approaches in realization of monitoring base on modern achievements in this field, as well as construction of control systems in real-time, development of modern controllers on the base of usage of process model applying modern sensors in feedback circuit , development of the new types of controller.