Спосіб визначення моменту закінчення процесу плазмохімічного травлення

Abstract

Спосіб визначення моменту закінчення процесу плазмохімічного травлення, в якому за рахунок введення нових операцій і зв'язків між ними досягається можливість вимірювання малих відносних концентрацій збуджених частинок плазми, що приводить до підвищення чутливості і достовірності контролю цільового процесу.

Способ определения момента окончания процесса плазмохимического травления, в котором за счет введения новых операций и связей между ними достигается возможность измерения малых относительных концентраций возбужденных частиц плазмы, что приводит к повышению чувствительности и достоверности контроля целевого процесса.

The invention proposes a method for determination of the process finishing point of plasmochemical etching. Due to introduction of new procedures and relations between them it is achieved possibility for measuring small relative concentration of excited plasma particles that leads to sensitivity enhancement and increase of control reliability of target process.