Микроэлектронный радиоизмерительный сенсор давления с частотным выходом

Abstract

В статье представлены характеристики микроэлектронного радиоизмерительного сенсора давления с частотным выходом в виде автогенераторной схемы на основе двух полевых транзисторов с различной проводимостью каналов и чувствительным к давлению конденсатором. На основе эквивалентной схемы микроэлектронного радиоизмерительного сенсора давления получены зависимости выходного сигнала от времени, функцию преобразования и чувствительности. Чувствительность устройства зависит от режима питания по постоянному току и величины давления, которое действует на чувствительную к давлению емкость, она изменяется от 470 до 235 Hz/mmHg.The paper presents the characteristics of microelectronic radiomeasuring pressure sensor with frequency output in the form of autogenerating scheme based on two field­effect transistors with different channel conductivity and pressure­sensitive capacitor. Based on the equivalent circuit of microelectronic radiomeasuring pressure sensor output signal obtained depending on the time conversion function and sensitivity. The sensitivity of the device depends on the DC power and the pressure which acts on the pressure sensing capacitance, it ranges from 470 to 235 Hz/mmHg