Пристрій для визначення моменту закінчення процесу плазмового травлення
Вантажиться...
Файли
Дата
Науковий керівник
Редактор
Інші учасники
Відповідальний
ORCID
Назва журналу
Номер ISSN
Назва тому
DOI
Альтернативна назва
Устройство для определения момента окончания процесса плазменного травления
Device for determination of plasma etching process finishing
Device for determination of plasma etching process finishing
Анотація
Пристрій для визначення моменту закінчення процесу плазмового травлення належить до електронної техніки. Технічний результат корисної моделі полягає в введенні нових блоків і зв'язків.
Устройство для определения момента окончания процесса плазменного травления относится к электронной технике. Технический результат полезной модели заключается во введении новых блоков и связей.
A device for determination of end of plasma etching process relates to electronics. The technical result is incorporation of new units and connections.
Устройство для определения момента окончания процесса плазменного травления относится к электронной технике. Технический результат полезной модели заключается во введении новых блоков и связей.
A device for determination of end of plasma etching process relates to electronics. The technical result is incorporation of new units and connections.
Опис
Ключові слова
УДК
Тип документа
Мова
Є частиною
ISSN
Посилання на публікацію
Серія, номер
ISBN
ББК
Інші ідентифікатори
64926
Пов’язані матеріали
Спонсорська підтримка
Правовласник
Бібліографічний опис
Пат. 64926 UA, МПК H01L 21/302. Пристрій для визначення моменту закінчення процесу плазмового травлення [Текст] / С. Ю. Кравченко, Ю. С. Кравченко, В. С. Осадчук (Україна). - № u201104431 ; заявл. 11.04.2011 ; опубл. 25.11.2011, Бюл. № 22. - 2 с. : кресл.