Оптичний частотний перетворювач для визначення часу плазмохімічних процесів

Abstract

Базовим елементом системи управління плазмохімічних технологічних процесів є безперервний моніторинг їх фізичних та технологічних параметрів , який здійснюється за рахунок збору та обробки інформації від спеціальних сенсорів. Одними із найбільш ефективних та інформативних методів визначення часу плазмохімічних процесів є оптичні методи. Високої точності в таких системах можна досягнути використовуючи оптоелектронні сенсори на основі транзисторних структур з від‘ємним опором