Мікроелектронний сенсор вологості з ємнісним чутливим елементом

Abstract

Розроблено мікроелектронний сенсор вологості з ємнісним вологочутливим елементом, який реалізує принцип перетворення «вологість-частота». Встановлено, що використання реактивних властивостей напівпровідникових структур з від’ємним опором забезпечить тривалу стабільність, високу надійність та чутливість до вимірювального параметру.Developed microelectronic sensor with capacitive humidity moisture element which implements the principle of transformation "moisture-frequency". It is established that the use of reactive properties of semiconductor structures with negative resistance provide long-term stability, high reliability and sensitivity to the measured parameter..