Фізична наноелектроніка

Abstract

У навчальному посібнику розглянуто фізичні явища у квантових структурах: квантове обмеження, балістичний транспорт носіїв заряду, тунелювання через по-тенціальні бар'єри квантових частинок, тунельно-резонансний ефект, кулонівська блокада, квантовий ефект Холла, електрооптичні явища в квантових структурах, спінові ефекти. Описані методи створення елементів наноструктур, принципи ро-боти інструментів для дослідження і побудови нанооб'єктів. Розглянуто принципи роботи і конструкції наноелектронних приладів і пристроїв. Навчальний посібник підготовлено відповідно до програми дисципліни "Фізичні основи мікро- та нано-технологій".