Аналіз і класифікація методів оптичного контролю напівпровідників

Abstract

Розглядаються візуальні, інтерференційні, поляризаційні та інші методи. Обговорюються їхні переваги, недоліки та практичне застосування. Оптичні методи дозволяють досліджувати склад, властивості, структуру та параметри напівпровідників без їх руйнування. Ці методи ґрунтуються на відбитті, поглинанні, інтерференції та дифракції світла.

Optical methods of non-destructive testing of semiconductor structures and devices are described. Visual, interference, polarization and other methods are considered. Their advantages, disadvantages and practical application are discussed. Optical methods allow studying the composition, properties, structure and parameters of semiconductors without destroying them. These methods are based on reflection, absorption, interference and diffraction of light.